機器消耗品市場

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商品NO	1052	商品名	スパッタ源	メーカー	（株）スプリード	管理	（株）スプリード
		型式	UHVマグネトロンスパッタ源	価格		商品問合せ
特徴	•デポジションレートが速い •メタルシールにより超高真空対応 •ターゲットサイズφ2インチ（3インチ有）					カタログ
仕様	取り付けフランジ：ICF152 ターゲットサイズ：φ2インチターゲットの厚み：非磁性材3mm/磁性材1mm以下（Fe）最大出力：300W(RF/DC）冷却方法：水冷式ベーキング：150℃ コネクタ：N型カスタマイズ可オプションシャッター有
備考				管理NO

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